pitanje o VGS kvar

[xerxer]

VGS probojni napon se odnosi na Tox, molite Gray 's knjige saysvgs probojni napon iznosi 6 ~ 7V kad Tox debeo je 10nm. U tekući proces Tox je oko 5NM. kojima je VGS probojni napon niži ili viši od 6 ~ 7V?

 

[eecs4ever]

Razbiti napon je manji.

Razloga da je zbog toga što razbija oksidni električnim polje unutar oksidni je previsoka.E = V / Tox

pa ako je debljina oksida (Tox) postaje manja, onda je potreban napon do obzirom električnim jakost polja također će biti manji.

 

[gevy]

Probojni napon iznosi 0,6 ... 0,7 V / 1 nm od Tox.
Tako probojni napon iznosi od 3 V do 3,5 V za Tox = 5 nm