MIM kondenzator

H

henrywent

Guest
Hi there,
Imam teškoća u razumijevanju izgled MIM kondenzator Pcell koje je Šmic PDK.Od izgled, i MIM kondenzator se sastoji od m5, mim i M6 slojeva.M6 je najviša razina u tom procesu.moje pitanje je, ako je m5 dnu sloja na kapu, što je najviša razina sloja od cap, mim ili M6?Mim sloj je fizički sloj ili sloj duda?Što
je više čudno je da su oba dnu ploče i pločice su vrhunske odvodom na M6 kroz VIA5-6.Tako izgleda da ne postoji mogućnost da se M6 vrhu sloj od kapacitivnosti i mim je fizički sloj (i gornji sloj za kapu), ali kako mogu mim sloj Skoči na M6 kroz VIA5-6, jer je m5 nije metal?Ja sam stvarno zbunjen, svaki komentar će se poštovati.
pozdravi,
Henry

 
Hi henrywent,
Razumijem dobro vaše zabune, ja jedanput je isti

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_wink.gif" alt="Wink" border="0" />

Tako sam pokušati opisati strukturu i nade to je razumljivo:
The mim je dodatna sloja (fizički, umjesto tankih) metalni sloj između m5 i M6, razdvojene vrlo tankom sloju izolacije od m5 (danas često od materijala visoke k), prisutna samo na MIM kapom pozicije (tj. urezan daleko drugdje) .Ova struktura (tanki sloj izolacije visokog k materijala) omogućava visoku kapu vrijednost po prostoru.
Na vrhu je mim sloj je normalna sloj izolacije između m5 i M6, otud VIA5-6 spojiti mim sa M6.I ne m5 na M6, kako bi preuzeti raspored ako mim sloj nije prikazan.
Klicati, erikl

 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top