Metal ili Polysilicon koristi kao vrata?

[Willt]

Hi prijatelj,

U starim danima, metal je služila kao vrata MOS.
Ali sada, koristi se polysilicon.

Metal ima otpornost niža nego polysilicon.
Koji je razlog za korištenje polysilicon sada?

Mislim da je nekoliko razloga:
1.Polysilicon je lakše držati silicij oksid.
2.Polysilicon može postići samopodešavanje metal, ali ne mogu.
(Metal će se rastopiti kada S / D primjesa se dopiranim [High Temperature!]
pod samopodešavanje.)

Disadv.korištenja polysilicon kao vrata:
1.Najbolji otpornost
2.Higher kapu.

Čuo sam da je metal će se koristiti kao vrata opet
u bliskoj budućnosti po-45nm proces.Je li to istina?

Molimo, slobodno razgovarati zajedno.

Your friend
Će

 

[truebs]

Metal je koristiti, ali zbog raznih prednosti koje nudi polysilicon uglavnom .. jednostavnost izrada i dobre performanse polysilicon čini idealnim vrata.

Također tu su mnogi problemi povezani s metalnim vratima, kao što su visoka propuštanje, electomigration, nečistoća, visoka electricfiedl.obeshrabreni da korištenje metala kao vrata.

Sada kao i 45nm je također dostupna, ona i dalje koristi low res - poli kao vrata.Ali da, neke aktivnosti se događaju u tom smjeru.