dummy metala ispuniti?

R

rahultcd

Guest
Na račun za bakar je nuspojava, fizički dizajn alati duda umetnuti metalni uzorci, zove metalni ispuniti, tako da dizajnira zadovoljavaju potrebne metal gustoće ", kako je određeno od strane ljevaonice" smanjenja debljine varijacija.

Što je točno ovaj dummy metal?wher to je spojen?
Može netko objasniti kako točno ispunite ovaj pseudo-metal, pomoći kako bi se smanjila .. debljina varijaciju?

hvala
...............

 
Dummy metal ispuniti je da zadovolji metal gustoće za paticular područje.Ako je gustoća nije zadovoljan za metal, nego što dovodi do Curenje metala i dovodi do problema prinosa.
Ako smo privući veliki pravokutni metal zadovoljiti gustoće i nisu slijedila pravljenje žljebova tih pravila dovodi do više od gustoće u paticular području.
Dummy metali su lijevo plutajući koje se popunjava alat i ako ste ispunjen ručno onda je bolje spojiti GND opskrbe.
Dolazeći do debljine varijacije nemam bolju ideju.

 
Postoje dva glavna razloga za korištenje pseudo ispune:

1.Jakim kiselinama se koristi za rezati slojeva materijala tijekom izmišljotina (npr.: metalni).Ako nema dovoljno metala na području čip, kiseline može početi rezati-daleko na ostale materijale na čipu

2.Kada proizvoditi čip, te su zgrade višestruke slojeve na vrhu eachother.Ukupne visine čip može razlikovati u različitim područjima temelji se na materijalu sloja u toj regiji.Ako nemate dovoljno metala u određenom području, čip je visina će se "sag" u tom području.To uzrokuje probleme tijekom graditi-gore od više slojeva metala na čip.Možete vidjeti razlika u visini čip u ovim dijagrami:<img src="http://www.aero.org/publications/crosslink/summer2003/images/03_01.gif" border="0" alt="dummy metal fill ?" title="pseudo-metal ispuniti?"/>
<img src="http://mems.sandia.gov/images/fig2.gif" border="0" alt="dummy metal fill ?" title="pseudo-metal ispuniti?"/>
<img src="http://www.nxp.com/news/backgrounders/bg9809/images/bg9809-1.gif" border="0" alt="dummy metal fill ?" title="pseudo-metal ispuniti?"/>Dummy ispuniti je obično lijevo pluta (ie: spojen na ništa).

 
Thnks

Shvatila sam ur bodova.

No, pseudo-Met ispune tht ur razgovor je lijek fr uklanjanje varijacija debljine zbog nedostatka metala.Ali sam bio koji se odnose na pseudo-Met ispuniti, koji se koristi za kompenzaciju fr-ve effects produced by CMP (kemijsko-mehaničko poliranje).

Sada Pročitajte sljedeće ..

"" Za bakar, uzorak za tragove metala je ugraviran u
ILD i bakar je electroplated u novonastalom rovova.Višak bakra materijal se uklanja u
kemijsko-mehaničko poliranje korak.Kao rezultat ovog procesa, varijacije u visini vafel svibanj pojaviti se in
područja u kojima je metal gustoće nije jedinstvena.
* (1) Područja gdje je široka metalna linije postoje mogu doživjeti erozija,
stanje u kojem je uklonjena previše materijala bakra.
* (2) U mjestima gdje je prostor između metala linije je
manji, dielektrični dishing može doći.Rezultat je veća električna varijacijaTako da točno za planarity pitanja, pravilo-based metal ispuniti je zajednički pristup za umetanje pseudo-metal ispuniti zapostizanje jednolike raspodjele metalnih i adekvatnu planarization ""Pitanje: Ne tako sam m razumijevanje kako višak dummy ispune pomaže riješiti probleme (1) i (2)?Thnks ..

 
rahultcd:

On nije rekao višak metala popuniti će se smanjiti probleme.On samo kaže pravilo-based metal ispuniti će smanjiti probleme.Na taj način zatim ponovite svoje pitanje, možemo raspravljati o ovom!

 
Thnx,

Ali nakon svega to je metal ispuniti, da li je pravilo temelji ili ne, on će imati isti učinak ...

plz Pročitajte Q ispravno ..

thnx

 
Preporučujem u to vidjeli prilog na ovaj link (slajdova 25-29)

http://www.edaboard.com/viewtopic.php?t=275951&highlight=sp24

 
You must log in or register to reply here.

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top